美国莱特浩斯HPC1100高压控制器优点和应用范围  产品介绍：

HPC 1100 高压控制器采用的新设计理念和技术，与莱特浩斯 0.1μm 的粒子计数器配合，监测高压环境（30 到 150PSI）下的惰性气体系统的工业气体污染。

应用：

过程认证

半导体工艺监测

平板过程监控

过程趋势分析

优点：

在正常操作期间零浪费惰性气体

输出压力接近大气压力

低噪声

小尺寸

易于系统集成

支持0.1μm灵敏度、1立方英尺流量（28.3L/min)的尘埃粒子计数器

可用于任何惰性气体

容易设置

安装简单

前装式流量计

直观的用户控制

安静的操作

快速吹扫和清理

内部和外部VCR接头

不锈钢结构

技术参数：

气体粒径范围：0.1μm或更大的

流量范围：1立方英尺(28.3L/min)

输出压力: 接近大气压

输入压力：30-150 psi

兼容的气体：氮，氩，氦，CDA

运行时的噪声水平：< 60分贝

外壳：不锈钢