日本新宇宙XP-703D泵吸式半导体特气检漏仪 产品介绍：
适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警
日本新宇宙XP-703D泵吸式半导体特气检漏仪 产品参数：
| 型 号 | XP-703D | 检测对象气体 | 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） | 检测原理 | 型半导体式 | 采样方式 | 自动吸引式 | 可检测浓度
（单位：ppm） | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 | 检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 | 应答速度 | 10秒以内 |
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| 型 号 | XP-703D | 检测对象气体 | 半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等） | 检测原理 | 型半导体式 | 采样方式 | 自动吸引式 | 可检测浓度
（单位：ppm） | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 | 检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 | 应答速度 | 10秒以内 |
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